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6688体育官网浙江创芯集成电路申请用于Fab系统的AI边缘计算平台专利实现对半导体制造设备工艺参数的低时延处理
类别:行业资讯 发布时间:2024-12-22 08:31:36 浏览: 次
6688体育官方网站金融界2024年12月21日消息,国家知识产权局信息显示6688体育官网,浙江创芯集成电路有限公司申请一项名为“用于Fab系统的AI边缘计算平台、方法6688体育官网、终端及系统”的专利,公开号CN 119151381 A6688体育官网,申请日期为2024年11月。
专利摘要显示,本发明提供一种用于Fab系统的AI边缘计算平台、方法、终端及系统,该平台专为Fab系统设计,根据Fab各系统中业务数据处理任务需求定制开发,部署于晶圆制造厂多个机台设备的边缘侧,并与各机台设备通信连接。所述平台能够采集并筛选符合高质量晶圆标准的工艺参数数据,利用特定算法模型进行分析处理,根据分析结果动态调整机台设备工艺参数并补偿Fab系统指数,优化机台设备性能与生产流程以及算法模型。通过结合边缘计算与AI技术,本发明实现了对半导体制 造设备工艺参数的低时延处理和实时分析,提升了系统处理效率和响应速度,同时集成了设备数据处理的全流程自动化管理,降低了人工干预需求,减轻了开发人员工作负担。